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Barca da wafer in carburo di silicio ricristallizzato a semiconduttore

2025-08-05

Ingegneria Ceramic Co., (EC © ™) Rapporto:

Ingegneria Ceramic Co offre con orgoglio 3 tipi di materiali distinti di barche da wafer in carburo di silicio, ognuna su misura per soddisfare le esigenze esigenti delle industrie avanzate.

Recrystallized Silicon Carbide

Recrystallized Silicon Carbide

Barca di wafer ricristallizzata in carburo di silicio (RSIC) con rivestimento CVD-SIC

La nostra barca di wafer in carburo di silicio ricristallizzato si distingue con il suo sofisticato processo di produzione. La barca è meticolosamente realizzata dividendola in singole parti dell'unità, sinterizzandole separatamente e legandole con l'adesivo di silice. Queste parti vengono quindi fuse in una singola struttura robusta attraverso un incendio ad alta temperatura, seguita dall'applicazione di un rivestimento in ceramica CVD-SIC di precisione (100 µm ± 1 µm di spessore). Questo rivestimento è essenziale, poiché la porosità intrinseca del materiale ricristallizzato porterebbe altrimenti a contaminazione da particelle durante il funzionamento. A differenza dei prodotti di grafite con rivestimenti CVD-SIC, la nostra barca di wafer RSIC elimina il coefficiente di espansione termica (CTE) non corrispondente, garantendo una durata di servizio affidabile di 2-3 anni. Tuttavia, l'intricato processo, i tempi di produzione prolungati e i costi elevati riflettono la qualità premium di questo prodotto.

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Reazioni in carbone di silicio incollato (RBSIC) Wafer Boat

La barca di wafer in carburo di silicio (RBSIC) incollato di reazione, nota anche come SiC (SISIC) infiltrato al silicio, offre una densità di superficie eccezionale con una porosità inferiore allo 0,1%, annullando la necessità di rivestimenti ceramici CVD aggiuntivi. Questa barca viene prodotta fondendo le polveri SIC e SI, mettendole in forma, sinterizzandole in un'unità coesa e finendo con lavorazione a CNC di precisione. Mentre la durezza e la fragilità di SIC pongono sfide, che si impegnano a un tasso di rottami più elevato e ai costi di produzione elevati, il risultato è un prodotto durevole. Rispetto al quarzo, che offre costi più bassi attraverso l'elaborazione e la fusione segmentate, RBSIC contiene SI libero del 10-15%, limitando la sua temperatura di funzionamento massima a 1350 ° C (il punto di fusione di SI). Inoltre, la sua suscettibilità alla corrosione di HF può portare a contaminazione da particelle, un fattore da considerare per applicazioni specifiche.

Recrystallized Silicon Carbide

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Barca da wafer sinterizzato in carburo di silicio (SSIC)

La nostra barca di wafer sinterizzata in carburo di silicio (SSIC), realizzata con SIC sinterizzato senza pressioni con una purezza del 99,5% min, rappresenta l'apice della performance. Il processo di produzione-cingola, sinterizzazione e lavorazione del CNC-si batte in un gruppo fissato con viti SSIC, dadi e perni personalizzati, ottimizzando la resistenza al carico. Con la porosità praticamente zero, questa barca non richiede ulteriori rivestimenti ed è immune alla contaminazione da particelle. Eccelle in condizioni estreme, supportando una temperatura operativa massima di 1600 ° C e superiore a 1800 ° C in ambienti a vuoto. Rinomato per la sua resistenza alla corrosione superiore, specialmente in ambienti corrosivi ad alta temperatura e duri, la barca del wafer SSIC offre una durata di servizio impressionante di oltre 5 anni, rendendola una scelta ideale per le applicazioni più esigenti.

Recrystallized Silicon Carbide

Nel corso di oltre 20 anni di produzione di prodotti SIC, EC ha accumulato una vasta esperienza di produzione e competenze pratiche. Forniamo ai nostri clienti prodotti stabili, supporto tecnico affidabile e servizio ininterrotto 24 ore su 24, 7 giorni su 7. Per manuali di prodotto dettagliati, richieste tecniche, prezzi e informazioni di inventario, contattaci.

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