Ingegneria Ceramics Inc. (EC © ™) Rapporto:
ECFeedthrough del vuoto- Riepilogo tecnico
EC è specializzata in alimentari a vuoto ad alte prestazioni come:
✔ Isolatore ceramico per isolamento ad alta tensione (Al₂o₃/Aln)
✔ Tecnologia di brasatura a vuoto (tasso di perdita <10⁻⁹ MBAR · L/S)
✔ sigillatura ermetica per pompe molecolari turbo/pompe a ioni (compatibile con UHV/XHV)
✔ Configurazioni personalizzate per applicazioni a semiconduttore, aerospaziale e di ricerca
Tabella 1: classificazione basata sul principio operativo
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tipi |
Teoria dell'operazione |
Sottovuoto finale (PA) |
Caratteristiche principali |
Usi principali |
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Pompa di palette rotanti |
Transizione con un furgone rotante |
1e-1 ~ 1e2 |
Tipo di guarnizione dell'olio, manutenzione richiesta |
Pompa foraggio/posteriore |
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Pompa a scorrimento a secco |
Compressione del gas da spirali orbitali |
1e-2 ~ 1e1 |
Vibrazione senza olio e bassa |
Attrezzatura di laboratorio |
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ROOTS BLOWER |
Trasporto di gas con lobi contropiede |
1e-1 ~ 1e3 |
Throughput elevato, spesso a più livelli |
Sistema di vuoto industriale |
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Pompa di diffusione dell'olio |
Trasferimento dal momento del getto a vapore |
1E-7 ~ 1E-4 |
Niente parti in movimento, trappole fredde necessarie |
Deposizione del raggio elettronico |
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Pompa molecolare turbo |
Rotore ad alta velocità (> 60K RPM) si scontra con molecole |
1E-9 ~ 1E-6 |
Pulizia, sensibile alle vibrazioni |
UHV Science Machine |
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Pompa criogenica |
Condensa di gas su <20k superfici |
<1E-10 |
Richiesto aspirapolvere massimo e rigenerazione regolare |
Simulazione dell'ambiente spaziale |
Tabella 2: classificazione per livello di vuoto
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Gamma di vuoto |
Pressione (PA) |
Tipo di pompa ottimale |
Considerazioni tecniche |
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Vuoto grossolano |
1e5 ~ 1e2 |
Vane rotante, diaframma |
Supporto ad alta pressione con zavorra a gas |
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Vuoto basso |
1e2 ~ 1e-1 |
Radici + Vane rotante |
Velocità vs. efficienza energetica |
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Vuoto alto |
1E-1 ~ 1E-7 |
Diffusione, |
Prevenzione backstream |
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Vuoto ultra-alto (UHV) |
1E-7 ~ 1E-10 |
Ion, Cryopump |
La selezione del materiale è importante |
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Sotto vuoto estremamente alto |
<1E-10 |
Cryosistema ionico ibrido |
Ambiente a livello quantistico |
Guida alla selezione della pompa del vuoto
Criteri di selezione dei tasti
1. Livello del vuoto finale
Il livello di vuoto richiesto deve soddisfare le specifiche del processo. Per esempio:
- Nella produzione di semiconduttori, sono generalmente richiesti livelli di vuoto inferiori a 10⁻⁶ PA.
- Nei processi industriali, può funzionare in modo efficace nell'intervallo da 10⁻ all'altro
2. Velocità di pompaggio
Misurato in litri al secondo (L/S) o metro cubico all'ora (m³/h)
Scegli le dimensioni giuste per la capacità della camera e il carico di gas
Le applicazioni ad alto rendimento (ad es. Forni a vuoto) possono richiedere 1.000+ m³/h
3. Compatibilità a gas e chimica
- Uso standard: materiali standard (acciaio inossidabile, alluminio)
- Ambiente corrosivo: sono richiesti materiali speciali, ad esempio:
- Parti di rivestimento PTFE (per resistente all'acido)
- Hastelloy o Nickel Leghe (per potenti prodotti chimici come il cloro)
4. Efficienza energetica e manutenzione
- pompa per guarnizione dell'olio:
- basso costo iniziale
- Sono richiesti modifiche all'olio regolari (ogni 2.000 a 4.000 ore)
- Il rischio di contaminazione dall'olio attraverso processi sensibili
- pompa secca (senza olio):
- Alto investimento iniziale
- Nessuna manutenzione richiesta (nessuna modifica dell'olio)
- Consigliato per i processi puliti (ad es. Medicinali, cibo)
La terminologia principale trattata in questo testo è la seguente:
1. SEALI ALLOUM - Una tenuta a vuoto, la tecnologia di tenuta del vuoto di dito e l'alimentazione del vuoto sono efficaci (connessione di tenuta).
2. Parte attraverso il through (かんつうぶ)-parte attraverso il through, generalmente si riferisce a parti che attraversano pareti o partizioni e a volte viene utilizzata per descrivere strutture simili al vuoto.
3. Furanzi - Flangia, comunemente usata nei componenti di connessione del sistema a vuoto, hardware relativo al vuoto può comportare questo termine.
4. Connettore a vuoto - Connettore a vuoto, connettore sottovalutato e capacità di accedere al feedthrough.
5. Penetrazione dell'isolamento - Capacità di eseguire durante l'alimentazione del vuoto.
Queste parole non sono del tutto equivalenti al "feedthrough del vuoto", ma possono essere usate come approssimazioni o termini correlati in determinate circostanze. Quale lingua utilizzare dipende dai dettagli tecnici e dalle norme del settore, quindi si consiglia di fare riferimento alla letteratura specializzata pertinente o di consultare un esperto per garantire l'accuratezza.
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